MQV氣體質(zhì)量控制器
MQV數(shù)字式質(zhì)量流量控制器采用MEMS流量傳感器的超微小感熱式流速傳感器,并通過(guò)PID控制技術(shù)驅(qū)動(dòng)比例執(zhí)行器的高性能氣體質(zhì)量流量控制器。實(shí)現(xiàn)了高速控制、低差壓動(dòng)作、寬范圍的流量控制等性能,完全滿(mǎn)足需求。
產(chǎn)品詳情
?傳感器構(gòu)造和特點(diǎn)
?傳感器性能優(yōu)勢(shì)
?應(yīng)用案例
?外形尺寸
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